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集成电路制造技术

作者：
王蔚，田丽，任明远编著
出版社：
电子工业出版社

出版时间：
2016.04
ISBN：
978-7-121-28277-5
主题：
集成电路工艺
中图法分类号：
TN405
【中图法分类】
T 工业技术 > TN无线电电子学、电信技术 > TN4微电子学、集成电路（IC）
【学科分类】
工学 > 电子科学与技术
版本号：
2版

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简介

本书共五个单元，系统介绍了当前硅集成电路制造普遍采用的工艺技术，具体包括硅衬底、氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试等。

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