集成电路制造工艺与工程应用

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集成电路制造工艺与工程应用

作者：
温德通编著
出版社：
机械工业出版社

出版时间：
2018.08
ISBN：
978-7-111-59830-5
主题：
集成电路工艺
中图法分类号：
TN405
【中图法分类】
T 工业技术 > TN无线电电子学、电信技术 > TN4微电子学、集成电路（IC）
【学科分类】
工学 > 电子科学与技术

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简介

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简介

本书以实际应用为出发点，抓住目前半导体工艺的主流工艺技术逐一进行介绍，例如CVD、PVD、CMP、ETCH、Photo、IMP。然后再通过图文对照的形式对典型工艺进行介绍，例如隔离技术的发展、Salicide工艺技术、ESD IMP工艺技术、Al和Cu金属互连。然后把这些工艺技术应用于实际工艺流程中，通过实例让大家能快速地掌握具体工艺技术的实际应用。

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