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直拉单晶硅工艺技术

太阳能光伏产业——硅材料系列教材

太阳能光伏产业——硅材料系列教材

作者：
黄有志，王丽主编
出版社：
化学工业出版社

出版时间：
2017.08
ISBN：
978-7-122-29885-0
主题：
半导体材料
中图法分类号：
TN304.053
【中图法分类】
T 工业技术 > TN无线电电子学、电信技术 > TN3半导体技术
【学科分类】
工学 > 电子科学与技术
版本号：
2版

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简介

本书主要内容包括：单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、直拉单晶炉生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等。

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