半导体器件TCAD设计与应用
本书作者为浙大微电子所副所长,确保权威性。
本书作者为浙大微电子所副所长,确保权威性。
随书光盘:
本书作者为浙大微电子所副所长。 ☆ 提供配套电子课件 ☆ 在写作方式上,侧重于TCAD技术的应用 ☆ 选取主流TCAD软件,每部分的主体设计流程均经过流片和测试验证,应用于实际科研工作中,具有较强的代表性和实用性 通过学习本书,你可以: 利用数值模拟技术进行半导体工艺及器件性能仿真 熟悉工艺仿真工具的优化使用 设计集成电路片上ESD防护器件 设计功率半导体器件 在较短时间内以很小的代价设计出合乎要求的半导体器件
简介
本书主要内容包括半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus TCAD,工艺仿真工具TSUPREM-4及器件仿真工具MEDICI,工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD,工艺及器件仿真工具ISE-TCAD,工艺仿真工具(DIOS)的优化使用,器件仿真工具(DESSIS)的模型分析等。