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电子科学与技术
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集成电路(IC)制程简论
集成电路(IC)制程简论
作者：
田民波
编著
出版社：
清华大学出版社
出版时间：
2009.12
ISBN：
978-7-302-20959-1
主题：
集成电路
丛编：
新材料及在高技术中的应用丛书
中图法分类号：
TN4
【中图法分类】
T 工业技术
>
TN无线电电子学、电信技术
>
TN4微电子学、集成电路（IC）
【学科分类】
工学
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微电子学与固体电子学
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简介
本书介绍了集成电路制程，以特征线宽130nm以下为重点，涉及集成电路制作工艺的各个方面，特别是包括短波长光源、步进与扫描照相曝光系统、CMP平坦化、双大马士革Cu布线、低-k介质材料、SoC与SiP等。
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