本书主要介绍电子元器件失效分析技术。从失效分析概论、失效分析技术、失效分析方法和程序以及失效预防几个方面的内容，使读者全面系统地掌握失效分析方面的基础理论、基本概念，技术和设备、方法和流程，指导开展相关的失效分析工作。

本书共11章，以硅集成电路为中心，重点介绍了半导体集成电路及其可靠性的发展演变过程、集成电路制造的基本工艺、半导体集成电路的主要失效机理、可靠性数学、可靠性测试结构的设计、MOS场效应管的特性、失效机理的可靠性仿真和评价。

本书全面阐述了电子元器件可靠性物理的基本概念和失效物理模型。全书共13章，前两章介绍可靠性物理及其发展现状，并介绍了8类经典的失效物理模型及工程应用的意义；后11章分别论述了微电子器件、微波器件、光电子器件等。

本书主要针对我国航空航天领域PHM技术应用需求，以航空系统中的电子设备故障预测与健康管理为案例，讲述故障预测与健康管理技术在航空电子系统中的技术架构和具体的技术应用。