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单晶硅超精密加工技术仿真

作者：

出版社：

机械工业出版社

出版时间：2020.05

ISBN：978-7-111-65091-1

本书以材料力学、超精密加工等学科为理论基础，建立单晶硅超精密车削的有限元和分子动力学模型，优化切削参数以及刀具参数，解决传统研究中只能通过大量实验来确定最优工艺参数的弊端，降低实验成本，提高加工效率。

基于机械—化学方法的微纳制造技术

作者：

出版社：

电子工业出版社

出版时间：2014.07

ISBN：978-7-121-23712-6

本书共6章，叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析，并对后期的应用进行系统的研究。