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半导体器件TCAD设计与应用本书作者为浙大微电子所副所长，确保权威性。

作者：

出版社：

电子工业出版社

出版时间：2013.01

ISBN：978-7-121-19342-2

本书主要内容包括半导体工艺及器件仿真工具Sentaurus TCAD，工艺仿真工具TSUPREM-4及器件仿真工具MEDICI，工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD，工艺及器件仿真工具ISE-TCAD，工艺仿真工具(DIOS)的优化使用，器件仿真工具(DESSIS)的模型分析等。