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工学
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化学工程与技术
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化学工程
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单晶硅超精密加工技术仿真
单晶硅超精密加工技术仿真
作者：
史立秋
著
出版社：
机械工业出版社
出版时间：
2020.05
ISBN：
978-7-111-65091-1
主题：
硅
中图法分类号：
TQ127.2
【中图法分类】
T 工业技术
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TQ化学工业
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TQ12非金属元素及其无机化合物化学工业
【学科分类】
工学
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化学工程
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简介
本书以材料力学、超精密加工等学科为理论基础，建立单晶硅超精密车削的有限元和分子动力学模型，优化切削参数以及刀具参数，解决传统研究中只能通过大量实验来确定最优工艺参数的弊端，降低实验成本，提高加工效率。
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