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基于MEMS技术的热梯度器件研究
基于MEMS技术的热梯度器件研究
作者：
聂金泉
著
出版社：
中国水利水电出版社
出版时间：
2019.04
ISBN：
978-7-5170-7299-7
主题：
微电机
中图法分类号：
TM38
【中图法分类】
T 工业技术
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TM电工技术
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TM3电机
【学科分类】
工学
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电气工程
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电机与电器
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简介
本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统，设计了一种新型的梯度加热器，由六个微加热芯片组成，每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元，采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响，为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。
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