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工学
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电子科学与技术
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新型SOI MOSFET器件
新型SOI MOSFET器件
作者:
辛艳辉
著
出版社:
电子工业出版社
出版时间:
2018.02
ISBN:
978-7-121-32731-5
主题:
SOI结构
中图法分类号:
TN431.1
【中图法分类】
T 工业技术
>
TN无线电电子学、电信技术
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TN4微电子学、集成电路(IC)
【学科分类】
工学
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微电子学与固体电子学
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本书共6章:绪论;应变硅SOI技术及短沟道SOI MOSFET基础理论;单Halo全耗尽应变Si SOL MOSFET性能分析;新型双栅应变Si SOI MOSFETT性能分析;非对称Halo异质栅应变Si SOI MOSFET性能分析;结论和展望。
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