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基于机械—化学方法的微纳制造技术

作者：
史立秋著
出版社：
电子工业出版社

出版时间：
2014.07
ISBN：
978-7-121-23712-6
主题：
半导体材料
中图法分类号：
TN304.1
【中图法分类】
T 工业技术 > TN无线电电子学、电信技术 > TN3半导体技术
【学科分类】
工学 > 电子科学与技术

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简介

本书共6章，叙述了应用机械-化学方法在硅表面制造功能性微纳结构的全过程及其表征与分析，并对后期的应用进行系统的研究。

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