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直拉单晶硅工艺技术 太阳能光伏产业——硅材料系列教材

作者:

出版社:

化学工业出版社
出版时间:2017.08
ISBN:978-7-122-29885-0

本书主要内容包括:单晶炉的基本知识、直拉单晶炉、直拉单晶炉的热系统及热场、晶体生长控制器、直拉单晶炉生长技术、铸锭多晶硅工艺、掺杂技术等。