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基于原子力显微镜的纳米机械加工与检测技术
作者:
董申
,
孙涛
,
闫永达
著
出版社:
哈尔滨工业大学出版社
出版时间:2012.12
ISBN:978-7-5603-3861-3
本书内容包括:纳米机械加工表面的微观形貌检测方法;纳米机械加工表层形成机理;基于AFM的纳米机械加工技术;基于AFM的工程应用。