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作者:

出版社:

哈尔滨工业大学出版社
出版时间:2012.12
ISBN:978-7-5603-3861-3

本书内容包括:纳米机械加工表面的微观形貌检测方法;纳米机械加工表层形成机理;基于AFM的纳米机械加工技术;基于AFM的工程应用。