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作者:

出版社:

哈尔滨工业大学出版社
出版时间:2012.06
ISBN:978-7-5603-3864-4

本书在总结作者科研工作的基础上,较全面地对纳米尺度线宽测量、纳米尺度边缘粗糙度测量、纳米尺度微力、杨氏模量和刚度测量等进行了论述。