本书系统阐述了X射线荧光光谱分析(XRFS)基本原理，介绍了XRFS光谱仪及主要组成部件，特别是X射线激发源和X射线探测器的工作原理，强调了新型X射线激发源和探测器如聚焦毛细管X射线透镜、硅漂移探测器和超导探测器等的研究进展和特征性能。对开展XRFS分析所需的定性与定量分析方法、元素间基体校正、化学计量学计算等做了较详细的描述，评介了各方法的特点、局限及选用原则。