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超高真空 超高真空技术是真空设备中能够获得洁净环境的重要手段,本书所涉及内容广泛用于现代尖端技术。

作者:

出版社:

化学工业出版社
出版时间:2013.11
ISBN:978-7-122-17646-2

本书共分6章。比较全面系统地阐述了超高真空技术涉及的气体分子运动的经典理论、主要常用公式,各类超高真空扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温泵,超高真空阀门、挡板等元部件,超高真空测量,超高真空系统设计及维护运转。