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微机电系统及工程应用国内唯一一套全面介绍先进机电一体化技术的实用性丛书

作者：

出版社：

化学工业出版社

出版时间：2015.08

ISBN：978-7-122-23883-2

本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章，分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。