本书共分6章。比较全面系统地阐述了超高真空技术涉及的气体分子运动的经典理论、主要常用公式，各类超高真空扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温泵，超高真空阀门、挡板等元部件，超高真空测量，超高真空系统设计及维护运转。

本书全面收录了当代真空技术常用数据，主要内容包括大气及理想气体定律，真空管道、挡板流导，真空元件性能参数，真空测量、真空检漏，真空容器设计，真空技术常用材料，常用数据，真空装置热计算基础。