本教材内容主要包括：微观粒子的物理基础和理论体系，理解单个及大量微观粒子所需要具备的知识和背景；晶体中原子和电子运动的普遍规律；半导体的基本概念和载流子运动特点；半导体结构中电流控制的原理及方法。

本书主要介绍MEMS器件、系统和工艺的模型、模拟以及设计方法。内容包括：MEMS设计框架、MEMS器件级模型与模拟、MEMS器件宏模型与系统级设计、MEMS工艺级模型与模拟和MEMS设计基础。

本书涉及了量子力学、统计物理、固体物理及半导体物理方面的基本知识。内容包括：微观粒子的状态、晶体中原子状态、晶体中的电子状态和半导体中电子的状态等。