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本书系统阐述了低电压扫描电镜面临的主要挑战及其在无机纳米材料领域的应用。全书共分5章,内容包括低电压扫描电镜的原理、荷电现象及其解决方案、低电压扫描电镜的技术突破、低电压能谱以及电子背散射电子衍射技术在无机材料领域的应用等。