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工学
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电子科学与技术
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集成电路制造技术
集成电路制造技术
作者:
王蔚
,
田丽
,
任明远
编著
出版社:
电子工业出版社
出版时间:
2016.04
ISBN:
978-7-121-28277-5
主题:
集成电路工艺
中图法分类号:
TN405
【中图法分类】
T 工业技术
>
TN无线电电子学、电信技术
>
TN4微电子学、集成电路(IC)
【学科分类】
工学
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电子科学与技术
版本号:
2版
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本书共五个单元,系统介绍了当前硅集成电路制造普遍采用的工艺技术,具体包括硅衬底、氧化与掺杂、薄膜制备、光刻、工艺集成与封装测试等。
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