集成电路制造技术
哈尔滨工业大学国家集成电路人才培养基地教学建设成果。作者基于十多年的讲义改编。
哈尔滨工业大学国家集成电路人才培养基地教学建设成果。作者基于十多年的讲义改编。
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本书是哈尔滨工业大学国家集成电路人才培养基地教学建设成果。本类图书（教材）市面上品种少，写作门槛高。本书是作者基于十多年的讲义改编。 本书知识体系完整，附录部分附有集成电路工艺实习内容及相应软件介绍，给出典型产品的工艺流程。 提供PPT、典型工艺的录像和FLASH、集成电路工艺实验讲义、相关实验技术资料等教辅支持。 电子科学与技术、微电子、集成电路等专业，重点推荐。
简介
本书主要内容包括：绪论；单晶硅特性；硅片的制备；外延；热氧化；扩散；离子注入；化学气相淀积；物理气相淀积；光刻工艺；光刻技术；刻蚀技术等。
