微细加工与微纳加工技术及应用

数字资源平台 > 工学> 材料科学与工程> 材料加工工程> 微细加工与微纳加工技术及应用

微细加工与微纳加工技术及应用

微细与微纳加工前沿技术

作者：
赵波，李伯民，李清等编著
出版社：
化学工业出版社

出版时间：
2021.01
ISBN：
978-7-122-36940-6
主题：
特种加工
中图法分类号：
TG66
【中图法分类】
T 工业技术 > TG金属学与金属工艺
【学科分类】
工学 > 材料科学与工程 > 材料加工工程

建议阅读终端：

在线试读

PDF格式

编辑推荐

简介

暂无推荐

简介

本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书介绍了微切削加工技术，微细电加工技术，激光的微纳米加工技术，面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术，纳米机械加工原理、方法与实现；还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。

展开 ∨

评分：

评价：

请输入评论信息

0/255 我要评论