先进光学元件微纳制造与精密检测技术

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先进光学元件微纳制造与精密检测技术

作者：
郭隐彪[等]编著
出版社：
国防工业出版社

出版时间：
2014.11
ISBN：
978-7-118-09613-2
主题：
光学元件光学元件光学元件精密测试
中图法分类号：
TH74
【中图法分类】
T 工业技术 > TH机械、仪表工业 > TH7仪器、仪表
【学科分类】
工学 > 仪器科学与技术 > 精密仪器及机械
工学 > 仪器科学与技术 > 测试计量技术及仪器

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简介

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简介

本书以非球面光学元件的制造技术为代表，完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统；重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术；围绕实现确定性抛光，阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术；介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术，加工轨迹规划原理和数据处理方法，以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。

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