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RF MEMS器件设计、加工和应用

作者：
朱健编著
出版社：
国防工业出版社

出版时间：
2012.12
ISBN：
978-7-118-08501-3
主题：
微电子元件
分丛编题名：
MEMS与微系统系列
中图法分类号：
TN4
【中图法分类】
T 工业技术 > TN无线电电子学、电信技术 > TN4微电子学、集成电路（IC）
【学科分类】
工学 > 电子科学与技术
工学 > 电子科学与技术 > 微电子学与固体电子学

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简介

本书共分为11章，主要内容包括：RF MEMS设计技术；RF MEMS工艺技术；RF MEMS开关；RF MEMS电容和电感；RF MEMS移相器；RF MEMS谐振器等。

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