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光学薄膜制备技术
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简介
本书内容包括光学薄膜原理、常用光学薄膜、真空镀膜技术、膜层厚度监控方法、光学薄膜制备工艺因素、真空镀膜材料、薄膜的结构特性和光学薄膜检测等。
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