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集成电路制造技术

作者：
张亚非，段力编著
出版社：
上海交通大学出版社

出版时间：
2018.10
ISBN：
978-7-313-18651-5
主题：
集成电路工艺
中图法分类号：
TN405
【中图法分类】
T 工业技术 > TN无线电电子学、电信技术 > TN4微电子学、集成电路（IC）
【学科分类】
工学 > 电子科学与技术

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简介

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简介

本书主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况的介绍。本书把集成电路的工艺技术分类为图形化(光刻)、加法(薄膜的技术)、减法(刻蚀技术)、乘除法(离子注入、silicide)及其集成电路工程学(良率、可靠性)和集成电路后勤工作(超净间、lC衍生产业链)几大类，便于学生掌握、记忆和类推。

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