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微纳机电系统力学
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简介
本书在简述微纳机电系统技术发展的基础上,从物理基本力入手,针对微纳机电系统的力学环境,先后介绍了静电力、电磁力、范德瓦尔斯力、卡西米尔力、毛细力在微纳尺度下的作用规律。针对微纳系统结构,介绍了电容静电力、布朗力、阻尼力对微纳结构系统的作用特性和影响规律。
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