扫描用手机阅读此书支持Android/iPhone
真空装置广泛的应用于各领域。例如，最常见的真空蒸发镀膜装置，它在真空容器内必须配置蒸发源（或称蒸发舟）、膜材、基片、基片架、基片加热电源等；仅就在轻工、日用品、玩具等方面，真空蒸镀铝、制作镜子、包装纸、装饰陶瓷瓷品、玩具、人造宝石、钮扣、雕塑品等，以改善人们的生活需求。又例如，航天科技应用的各种空间环境模拟设备，以KM6载人航天器空间环境模拟设备为例，由于该设备是供载人飞船、空间站、大型应用卫星作热平衡、热真空试验所用。特别是离子束刻蚀机作为典型的真空装置所涉及的技术问题，由于属于材料原子级加工的一种新工艺，一旦被人们所掌握，就意味着人类在微观世界实现控制加工的一个突破。它将有力地推动微电子技术、光子技术、表面科学、应用声学、材料科学、真空科学技术等向前发展。
简介
本书分为7章，分别论述了真空装置概述、真空装置容器、真空装置抽气系统、真空泵、真空阀门、真空测量及装置的控制系统、真空装置常用制造工艺。
