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光电子技术基础实验
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简介
本书内容分为光纤光学实验和导波光学实验两大部分。光纤光学实验从光纤光学的基础知识出发,介绍了光纤通信等系统应用中需要掌握的主要技术环节。导波光学实验从介质光波导的基础知识出发,介绍了制备介质光波导器件需要掌握的基本技术环节,包括硅基衬底处理工艺和微细光刻技术与工艺等实验内容。
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