微机电系统及工程应用
国内唯一一套全面介绍先进机电一体化技术的实用性丛书
国内唯一一套全面介绍先进机电一体化技术的实用性丛书
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《微机电系统及工程应用》是“现代机电一体化技术丛书”之一。本丛书邀请了研究光机电一体化顶尖科研院校的多位专家参与编写,另外国内没有将光、机、电一体化技术作为一个整体技术门类来介绍的同类书。
简介
本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及其相关技术的应用。全书共12章,分别对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出、通俗易懂的介绍。