超高真空
超高真空技术是真空设备中能够获得洁净环境的重要手段，本书所涉及内容广泛用于现代尖端技术。
超高真空技术是真空设备中能够获得洁净环境的重要手段，本书所涉及内容广泛用于现代尖端技术。
随书光盘：
本书全面系统的介绍了超高真空泵、超高真空测量、超高真空用法兰、阀门、冷阱、选用材料、超高真空器件、超高真空系统以及超高真空系统检漏、运行于维护等等。是从事超高真空技术的科技人员必备的工具书，供广大科技工作者及工艺人员所使用。
简介
本书共分6章。比较全面系统地阐述了超高真空技术涉及的气体分子运动的经典理论、主要常用公式，各类超高真空扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温泵，超高真空阀门、挡板等元部件，超高真空测量，超高真空系统设计及维护运转。
