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硅片加工工艺

新能源系列——光伏技术应用规划教材

新能源系列——光伏技术应用规划教材

作者：
黄建华，廖东进主编
出版社：
化学工业出版社

出版时间：
2013.09
ISBN：
978-7-122-17693-6
主题：
硅
中图法分类号：
TN305
【中图法分类】
T 工业技术 > TN无线电电子学、电信技术 > TN3半导体技术
【学科分类】
工学 > 电子科学与技术

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简介

本书主要讲解了晶硅硅片加工工艺，主要包括单晶硅棒截断、单晶硅棒与多晶硅绽开方、单晶硅块磨面与滚圆、多晶硅块磨面与倒角等。

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