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电子科学与技术
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半导体薄膜技术基础
半导体薄膜技术基础
作者：
李晓干
，
刘勐
，
王奇
编著
出版社：
电子工业出版社
出版时间：
2018.02
ISBN：
978-7-121-32880-0
主题：
半导体薄膜技术
中图法分类号：
TN304.055
【中图法分类】
T 工业技术
>
TN无线电电子学、电信技术
>
TN3半导体技术
【学科分类】
工学
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电子科学与技术
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简介
本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍，主要包括作为最重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术，在对各种技术进行介绍的同时，还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。
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