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集成电路制程设计与工艺仿真

作者：
刘睿强，袁勇，林涛编著
出版社：
电子工业出版社

出版时间：
2011.03
ISBN：
978-7-121-12022-0
主题：
集成电路
中图法分类号：
TN402
【中图法分类】
T 工业技术 > TN无线电电子学、电信技术 > TN4微电子学、集成电路（IC）
【学科分类】
工学 > 电子科学与技术

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简介

本书共12章，主要内容包括：常规集成平面工艺、集成工艺原理概要、超大规模集成工艺、一维工艺仿真综述、工艺仿真交互设置、工艺仿真模型设置等。

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