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基于原子力显微镜的纳米机械加工与检测技术

作者：
董申，孙涛，闫永达著
出版社：
哈尔滨工业大学出版社

出版时间：
2012.12
ISBN：
978-7-5603-3861-3
主题：
原子力学
中图法分类号：
TG5
【中图法分类】
T 工业技术 > TG金属学与金属工艺 > TG5金属切削加工及机床
【学科分类】
工学 > 材料科学与工程 > 材料加工工程

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简介

本书内容包括：纳米机械加工表面的微观形貌检测方法；纳米机械加工表层形成机理；基于AFM的纳米机械加工技术；基于AFM的工程应用。

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