微机电耦合动力学
作者：
许立忠，孙丽波著-
出版社：
ISBN：
978-7-118-10053-2主题：
微电子技术丛编：
微米纳米技术丛书分丛编题名：
MEMS与微系统系列中图法分类号：
TM-
【中图法分类】
T 工业技术 > TM电工技术-
【学科分类】
工学 > 电气工程-
随书光盘：
简介
本书综合运用连续体动力学、静电学、流体动力学等理论，建立了单微梁、双微梁及微板的机电耦合动力学模型，考虑静电力的非线性以及机电耦合因素，对静电力作用下微构件的自由振动、在简谐激励作用下的受迫振动、弱非线性系统自由振动、接近共振的受迫振动、远离共振的受迫振动等动力学特性进行了研究。还建立了微梁及微板的机电流体三场耦合动力学模型，考虑非线性流体阻尼及非线性静电力的影响，对三场耦合微构件动力学特性进行了研究。
