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电子科学与技术
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微米纳米器件设计
微米纳米器件设计
作者：
黄庆安
，
周再发
，
宋竞
著
出版社：
国防工业出版社
出版时间：
2014.12
ISBN：
978-7-118-09784-9
主题：
纳米材料
丛编：
微米纳米技术丛书
分丛编题名：
MEMS与微系统系列
中图法分类号：
TN4
【中图法分类】
T 工业技术
>
TN无线电电子学、电信技术
>
TN4微电子学、集成电路（IC）
【学科分类】
工学
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电子科学与技术
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电子科学与技术
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微电子学与固体电子学
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本书主要介绍MEMS器件、系统和工艺的模型、模拟以及设计方法。内容包括：MEMS设计框架、MEMS器件级模型与模拟、MEMS器件宏模型与系统级设计、MEMS工艺级模型与模拟和MEMS设计基础。
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