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微细加工与微纳加工技术及应用
微细与微纳加工前沿技术
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简介
本书综合了近年来机械微加工和微纳加工领域的国内外新理论、新技术、新成果。全书介绍了微切削加工技术,微细电加工技术,激光的微纳米加工技术,面向MEMS与NEMS应用的金刚石CVD技术,纳米机械加工原理、方法与实现;还重点介绍了微纳米加工光刻技术、沉积法图形转移技术、刻蚀法图形转移技术、薄膜沉积技术、自组装纳米加工技术、微纳米加工技术的应用等内容。
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