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单晶硅超精密加工技术仿真
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简介
本书以材料力学、超精密加工等学科为理论基础,建立单晶硅超精密车削的有限元和分子动力学模型,优化切削参数以及刀具参数,解决传统研究中只能通过大量实验来确定最优工艺参数的弊端,降低实验成本,提高加工效率。
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