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基于MEMS技术的热梯度器件研究
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简介
本书提出了一种基于MEMS技术的热梯度微流控系统,设计了一种新型的梯度加热器,由六个微加热芯片组成,每个微加热芯片包含一个梯度单元和一个补偿单元,采用数值模拟分析了铝薄膜的几何尺寸(宽度和厚度)对温度梯度和功耗的影响,为微通道芯片的温度梯度的优化设计提供了参考。
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