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集成电路制造工艺

国家十二五规划教材江苏省示范专业建设核心课程配套教材

作者：
孙萍主编
出版社：
电子工业出版社

出版时间：
2014.09
ISBN：
978-7-121-22899-5
主题：
集成电路工艺
中图法分类号：
TN405
【中图法分类】
T 工业技术 > TN无线电电子学、电信技术 > TN4微电子学、集成电路（IC）
【学科分类】
工学 > 电子科学与技术

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简介

国家十二五规划教材江苏省示范专业建设核心课程配套教材

简介

本书共分4个模块11章，第1个模块为基础模块，介绍集成电路工艺发展的状况及典型电路的工艺流程；第2个模块为核心模块，重点介绍薄膜制备、光刻、刻蚀、掺杂及平坦化5个单项工艺的原理、技术、设备、操作及参数测试；第3个模块为拓展模块，根据产业链状况介绍材料制备、封装测试、洁净技术；第4个模块为提升模块，通过CMOS反相器的制造流程对单项工艺进行集成应用。

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