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MEMS集成设计技术及应用

作者：
苑伟政，谢建兵，焦文龙著
出版社：
国防工业出版社

出版时间：
2014.11
ISBN：
978-7-118-09583-8
主题：
微电子技术
丛编：
微米纳米技术丛书
分丛编题名：
MEMS与微系统系列
中图法分类号：
TN4
【中图法分类】
T 工业技术 > TN无线电电子学、电信技术 > TN4微电子学、集成电路（IC）
【学科分类】
工学 > 电子科学与技术
工学 > 电子科学与技术 > 微电子学与固体电子学

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简介

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简介

本书首先在介绍MEMS设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden的特色做了介绍，并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。最后，通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMS Garden的通用性与先进性。

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