本书共分6章。比较全面系统地阐述了超高真空技术涉及的气体分子运动的经典理论、主要常用公式，各类超高真空扩散泵、涡轮分子泵、溅射离子泵、低温泵，超高真空阀门、挡板等元部件，超高真空测量，超高真空系统设计及维护运转。

本书共25章，涵盖了真空工程设计的各个领域，包括真空概论；真空技术的物理基础；真空获得技术与设备；真空工程中制冷低温技术应用挤出；真空度测量仪器；低温测试技术；真空与低温技术中的热计算基础；真空管路的流导计算等。

本书全面系统地阐述了真空材料在真空科学技术中的使用。包括真空应用及真空设备的壳体、真空环境用材、放置于真空容器内的结构和机构用材、真空元件、各类密封材料、泵工作物质、气体捕获泵吸气材料、功能材料以及辅助材料等；同时也阐述了材料对真空系统性能的影响、材料的真空性能，以及航天器用材料质量损失性能等。

本书分为7章，分别论述了真空装置概述、真空装置容器、真空装置抽气系统、真空泵、真空阀门、真空测量及装置的控制系统、真空装置常用制造工艺。

本书主要介绍了真空泵、真空计、真空阀门、真空系统，各种真空应用设备和真空设备用油的选型与采购方法。

本书全面收录了当代真空技术常用数据，主要内容包括大气及理想气体定律，真空管道、挡板流导，真空元件性能参数，真空测量、真空检漏，真空容器设计，真空技术常用材料，常用数据，真空装置热计算基础。

本书收录了来自国内外的82篇投稿论文，反映了近年来在真空冶金与表面工程、真空科学与技术、真空工程等领域的许多最新科研成果，内容主要包括：炉外精炼技术；真空冶炼；真空热处理；真空冶金涂层；表面改性技术；生物材料表面工程；纳米表面工程和纳米摩擦学；超硬薄膜与功能薄膜等。